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ICP-CVD 방법에 의한 FAC 박막의 형성과 특성에 관한 연구

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Department
제주대학교 대학원: 물리학과
Awarded Date
2000
Degree
Master
Publisher
제주대학교
Citation
양창실. (2000). ICP-CVD 방법에 의한 FAC 박막의 형성과 특성에 관한 연구
Type
Dissertation
Appears in Collections:
Faculty of Applied Energy System > Physics
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