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ICP-CVD 방법에 의한 저유전율 박막의 형성과 특성

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Department
제주대학교 대학원: 화학과
Awarded Date
1999
Degree
Master
Publisher
제주대학교
Citation
손성민. (1999). ICP-CVD 방법에 의한 저유전율 박막의 형성과 특성
Type
Dissertation
Appears in Collections:
General Graduate School > Chemistry
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