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ICP-CVD 방법에 의한 저유전율 박막의 형성과 특성

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Author(s)
손성민
Issued Date
1999
Awarded Date
1999
Type
Dissertation
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/14870
Department
제주대학교 대학원: 화학과
Degree
Master
Publisher
제주대학교
Citation
손성민. (1999). ICP-CVD 방법에 의한 저유전율 박막의 형성과 특성
Appears in Collections:
General Graduate School > Chemistry
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