고상 에피택시에 의한 초박막 NiSi2 에피택셜 성장과 그 형성 운동학
- Issued Date
- 1993
- Awarded Date
- 1993
- Type
- Dissertation
- Department
- 제주대학교 대학원: 물리학과
- Degree
- Master
- Publisher
- 제주대학교
- Citation
- 부성은. (1993). 고상 에피택시에 의한 초박막 NiSi2 에피택셜 성장과 그 형성 운동학
- Appears in Collections:
- Faculty of Applied Energy System > Physics
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