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동시증착에 의한 epi-TiSi₂/Si 구조의 Flat Interface 형성에 관한 연구

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Author(s)
김승식
Issued Date
1995
Awarded Date
1995
Type
Dissertation
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/16110
Department
제주대학교 대학원: 물리학과
Degree
Master
Publisher
제주대학교
Citation
김승식. (1995). 동시증착에 의한 epi-TiSi₂/Si 구조의 Flat Interface 형성에 관한 연구
Appears in Collections:
Faculty of Applied Energy System > Physics
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