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자유전 상수를 갖는 a-C:F 박막에 CF₄플라즈마 처리효과

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Author(s)
최치규
Issued Date
2003-07
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/1667
Publisher
濟州大學校 基礎科學硏究所
Location
대한민국
Citation
최치규. (2003-07). 자유전 상수를 갖는 a-C:F 박막에 CF₄플라즈마 처리효과. 基礎科學硏究, 제16권 제1호 [2003-07-01], 1-10
Type
Article
ISSN
1225-3200
Appears in Collections:
Natural Science > The Journal of Basic Sciences Cheju National University
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