실리콘 微細加工 技術과 白金 薄膜을 이용한 마이크로 熱센서
- Issued Date
- 1996
- Awarded Date
- 1996
- Type
- Dissertation
- Department
- 제주대학교 대학원: 전자공학과
- Degree
- Master
- Publisher
- 濟州大學校
- Citation
- 김영민. (1996). 실리콘 微細加工 技術과 白金 薄膜을 이용한 마이크로 熱센서
- Appears in Collections:
- Faculty of Applied Energy System > Electronic Engineering
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