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마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술

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Author(s)
이광만
Publication Year
1999-12
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/1803
Publisher
濟州大學校 工科大學 産業技術硏究所
Location
대한민국
Citation
이광만. (1999-12). 마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술. 産業技術硏究所論文集, 제10권 2호, 118-126
Type
Article
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