마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술
- Publisher
- 濟州大學校 工科大學 産業技術硏究所
- Location
- 대한민국
- Citation
- 이광만. (1999-12). 마이크로센서 응용을 위한 실리콘 미세가공 기술. 産業技術硏究所論文集, 제10권 2호, 118-126
- Appears in Collections:
- Engineering > Journal of Research Institute of Industrial Technology
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