헬리콘 플라즈마 CVD 방법에 의한 저유전율 SiOF 박막 형성과 그 특성
- Issued Date
- 1996
- Awarded Date
- 1996
- Type
- Dissertation
- Department
- 제주대학교 대학원: 물리학과
- Degree
- Master
- Publisher
- 濟州大學校
- Citation
- 오윤정. (1996). 헬리콘 플라즈마 CVD 방법에 의한 저유전율 SiOF 박막 형성과 그 특성
- Appears in Collections:
- Faculty of Applied Energy System > Physics
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