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실리콘 미세가공 기술을 이용한 마이크로 진공 센서

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Author(s)
고희선
Issued Date
1998-06
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/2882
Publisher
濟州大學校 工科大學 産業技術硏究所
Location
대한민국
Citation
고희선. (1998-06). 실리콘 미세가공 기술을 이용한 마이크로 진공 센서. 産業技術硏究所論文集, 제9권 1호, 121-127
Type
Article
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Industrial Technology
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