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ICPCVD 방법에 의한 Nano-pore형 저유전 박막의 형성

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Author(s)
이광만
Issued Date
2001-12
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/2956
Publisher
제주대학교 공과대학 첨단기술연구소
Location
대한민국
Citation
이광만. (2001-12). ICPCVD 방법에 의한 Nano-pore형 저유전 박막의 형성. 尖端技術硏究所論文集, 제12권 2호, 350-354
Type
Article
ISSN
1598-5849
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Advanced Technology
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