ICPCVD 방법에 의한 Nano-pore형 저유전 박막의 형성
- Publisher
- 제주대학교 공과대학 첨단기술연구소
- Location
- 대한민국
- Citation
- 이광만. (2001-12). ICPCVD 방법에 의한 Nano-pore형 저유전 박막의 형성. 尖端技術硏究所論文集, 제12권 2호, 350-354
- ISSN
- 1598-5849
- Appears in Collections:
- Engineering > Journal of Research Institute of Advanced Technology
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