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ICP-CVD 방법에 의한 FAC 박막의 형성과 특성에 관한 연구

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Author(s)
최치규
Publication Year
2000-12
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/3968
Publisher
濟州大學校 基礎科學硏究所
Location
대한민국
Citation
최치규. (2000-12). ICP-CVD 방법에 의한 FAC 박막의 형성과 특성에 관한 연구. 基礎科學硏究, 제13권 제1호 [2000-12-30], 11-16
Type
Article
ISSN
1225-3200
Appears in Collections:
Natural Science > The Journal of Basic Sciences Cheju National University
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