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이온빔 보조 증착법으로 형성된 SiO2₂박막의 특성

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Author(s)
이헌주
Issued Date
1996-06
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/4055
Publisher
濟州大學校 工科大學 産業技術硏究所
Location
대한민국
Citation
이헌주. (1996-06). 이온빔 보조 증착법으로 형성된 SiO2₂박막의 특성. 産業技術硏究所論文集, 제7권 1호, 51-60
Type
Article
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Industrial Technology
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