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ICPCVD방법으로 만든 organosilicate 박막의 organic 특성에서의 유전상수

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Author(s)
최치규
Issued Date
2003-06
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/5207
Publisher
제주대학교 공과대학 첨단기술연구소
Location
대한민국
Citation
최치규. (2003-06). ICPCVD방법으로 만든 organosilicate 박막의 organic 특성에서의 유전상수. 尖端技術硏究所論文集, 제14권 1호 [2003-06-01], 1-5
Type
Article
ISSN
1598-5849
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Advanced Technology
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