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(물리학) 증착온도에 따라 형성된 SiOC(-H) 박막의 저유전율 특성 연구

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Author(s)
최치규
Issued Date
2007-06
Type
Article
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/6322
Publisher
濟州大學校 基礎科學硏究所
Location
대한민국
Citation
최치규. (2007-06). (물리학) 증착온도에 따라 형성된 SiOC(-H) 박막의 저유전율 특성 연구. 基礎科學硏究, 제20권 제1호, 105-114
Appears in Collections:
Natural Science > The Journal of Basic Sciences Cheju National University
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