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CVD에 의한 비정질불화탄소 박막의 유전상수의 열처리 의존성

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Author(s)
최치규
Issued Date
2003-12
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/6436
Publisher
제주대학교 공과대학 첨단기술연구소
Location
대한민국
Citation
최치규. (2003-12). CVD에 의한 비정질불화탄소 박막의 유전상수의 열처리 의존성. 尖端技術硏究所論文集, 제14권 2호 [2003-12-01], 68-73
Type
Article
ISSN
1598-5849
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Advanced Technology
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