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HDPCVD 방법에 의해 증착된 a-C:F 박막의 구조분석

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Author(s)
이광만
Issued Date
2001-12
Type
Article
URI
https://oak.jejunu.ac.kr/handle/2020.oak/8716
Publisher
제주대학교 공과대학 첨단기술연구소
Location
대한민국
Citation
이광만. (2001-12). HDPCVD 방법에 의해 증착된 a-C:F 박막의 구조분석. 尖端技術硏究所論文集, 제12권 2호, 355-359
ISSN
1598-5849
Appears in Collections:
Engineering > Journal of Research Institute of Advanced Technology
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